Ultraääniruiskutus hyväksyy ultraäänimuotoisen tekniikan ruiskutusmenetelmän, joka eroaa pohjimmiltaan perinteisistä yhden fluid- tai kahden fluidisuihkuista. Ultraääniruiskutus hyväksyy atomisointilaitteen, joka on erilainen käyttövaikutuksessa. Mitkä ovat edut?
1. Korkea pinnoitteen tasaisuus
Nestemäisen hiukkasten jakautumisen yhtenäisyys ultraäänisuuttimella on huomattavasti korkeampi kuin kahden fluidisen suuttimen, jota kutsutaan yleisesti ilmesumutuspistooliksi, joten pinnoitteen yhtenäisyyttä sen jälkeen, kun ultraäänisuutin suihkuttamisen jälkeen on parantunut merkittävästi. Yleensä ultraääniruiskutuksen päällyste yhdenmukaisuus voi saavuttaa yli 95%.
2. Raaka -aineiden korkea käyttöaste ja vähemmän roiskeet
Koska ultraääniruiskutus on nestemäistä sumuisaatiota ultraääni värähtelyllä, pinnoitusprosessi on sumuloitu, ts. Atomisointiprosessi ei vaadi painetta, ja vain erittäin matala kantoaaltokaasun paine kohdistuu nestemäisen sumun kuljettamiseen, joten nestemäisen nesteen rebound ja roiskeet, jotka aiheutuvat kahden flUid-ruiskutuksen korkean maalatavan korkean tason ilmasta. Raaka -aineiden ultraääniruiskutusnopeus on yli 4 kertaa tavallisen ilmansuihkutus, ja käyttöaste voi saavuttaa yli 90%.
3. Pinnoitteen paksuuden hallinnan suuri tarkkuus
Tärkein tekijä, joka vaikuttaa pinnoitteen paksuuden tarkkuuteen, on pinnoitteen suihkevirta, ts. Substraattiin ladattujen materiaalien määrä yksikköä kohti. Ultraäänisuuttimella ei ole mitään painevaikutusta nesteeseen, joten ruiskutetun maalin nesteen virtausnopeutta voidaan täysin ohjata korkean tarpeellisen mittauspumpun avulla, mikä toteuttaa korkean tarjonnan ruiskutusvirtauksen ohjauksen. Esimerkiksi korkean tarkkailun ruiskupumppu, sen virtauksen säätötarkkuus voi saavuttaa pikoliterien tason sekunnissa, ja ultraäänisuuttimen mikrokanava-suunnittelu voi myös saavuttaa nanoliterien yleisen ohjaustarkkuuden sekunnissa.
4. Pinnoitteen paksuus on ohut, mikä voi saavuttaa kymmeniä nanometrejä
Koska ultraäänisuutteen suihketilavuus voi saavuttaa erittäin alhaisen ja vakaan virtausnopeuden (0,001 ml/min), se voi saavuttaa erittäin pienen määrän kuormitusta substraatille, saavuttaen siten erittäin ohut kuiva kalvo. Joidenkin nanomateriaalien kohdalla kuiva kalvon paksuus voi olla niin alhainen kuin kymmeniä nanometrejä. Sitä voidaan käyttää lasikalvojen, kuten läpinäkyvien johtavien kalvojen, antirflektion ja aiheuttamien kalvojen, lämmöneristyskalvojen, hydrofiilisten ja hydrofobisten kalvojen, valmistukseen.
5. Suuttimien ja alhaisten ylläpitokustannusten tukkeutuminen ei
Koska ultraäänijärjestelmä toteuttaa nestemäisen sumuutumisen ultraääni värähtelyn kautta ja atomisoidut hiukkaset määritetään ultraääni värähtelytaajuudella, niin se on erilainen kuin kahden fluidinen suutin. suuttimen tukkeutumisen riski.
