Ultraääniruiskutuksen edut verrattuna perinteiseen ruiskuttamiseen
Perinteiseen ruiskutukseen verrattuna ultraääniruiskutuksen etuja ovat korkea pinnoitteen yhtenäisyys, korkea raaka-aineiden käyttöaste, korkean pinnoitteen paksuuden säätötarkkuus, ohuempi pinnoitteen paksuus, vähemmän roiskeita, suuttimien tukkeutuminen ja alhaiset huoltokustannukset. Otetaan lyhyesti käyttöön ultraääniruiskutuksen tärkeimmät edut.
1. Korkea raaka-aineiden käyttö ja vähemmän roiskeita. Koska ultraääniruiskutus on nestemäistä atomisointia ultraäänivärähtelyllä, pinnoitusprosessi ei vaadi kaasua, eli atomisointiprosessi ei vaadi painetta, ja vain hyvin alhainen taso käytetään atomisoinnin jälkeen. Kantokaasun paine kuljettaa nestemäistä sumua, joten kaksinesteen suihkuttavan korkeapaineisen ilman aiheuttama nesteen rebound ja roiskuminen vähenevät, mikä parantaa huomattavasti pinnoitteen käyttöastetta. Ultraääniruiskutuksen raaka-aineiden käyttöaste on yli 4-kertainen tavalliseen ilmaruiskutuksella, ja käyttöaste voi nousta yli 90%: iin.
2. Suutin ei ole tukossa ja huoltokustannukset ovat alhaiset. Koska ultraäänisuutin toteuttaa nesteen atomisoinnin ultraäänivärähtelyn kautta, ja atomisointihiukkanen määräytyy ultraäänivärähtelytaajuuden mukaan, se eroaa perinteisestä suuttimesta, eikä suuttimen halkaisijan tarvitse olla pieni saavuttaakseen Pienet atomisoituneet hiukkaset vähentävät suuttimen tukkeutumisen riskiä.
3. Pinnoitteen paksuuden hallinnan suuri tarkkuus Tärkein pinnoitteen paksuuden tarkkuuteen vaikuttava tekijä on pinnoitteen ruiskutusvirtausnopeus, joka on alustalle kuormitettu materiaalimäärä yksikköaikaa kohti. Ultraäänisuuttimella ei ole painevaikutusta nesteeseen, joten ruiskutettavan pinnoitenesteen virtausnopeus voidaan hallita täysin erittäin tarkalla mittauspumpulla, mikä mahdollistaa erittäin tarkan ruiskutusvirran hallinnan. Esimerkiksi erittäin tarkan ruiskupumpun virtauksen säätötarkkuus on jopa pikoliterejä sekunnissa, ja ultraäänisuuttimen mikrokanavan suunnittelulla voidaan myös saavuttaa nanolitraattoreita yleinen ohjaustarkkuus sekunnissa.
4. Pinnoitteen paksuus on ohut, jopa kymmeniä nanometrejä. Koska ultraäänisuuttimen suihkutustilavuus voi saavuttaa erittäin alhaisen vakaan virtausnopeuden (0,001 ml / min), se voi saavuttaa hyvin pienen määrän kuormitusta alustalle, jolloin saavutetaan hyvin ohut kuivakalvo. Joidenkin nanomateriaalien kuivakalvon paksuus voi olla jopa kymmeniä nanometrejä. Sitä voidaan käyttää lasikalvojen, kuten läpinäkyvän johtavan kalvon, antireflekti- jareflektikalvon, lämmöneristyskalvon, hydrofiilisen ja hydrofobisen kalvon valmistamiseksi.
